近年来，增城区始终坚持产业第一、制造业立区，主动衔接广州“12218”现代化产业体系，因地制宜建设增城“12613”现代化产业体系。
近日，增城再迎产业利好，中微半导体设备（上海）股份有限公司在广州市增城经济技术开发区举办开工仪式，宣布旗下的华南总部研发及生产基地项目正式开工启动。
当天开工活动得到各级政府的大力支持，季华实验室、国家新型显示技术创新中心等科研院所代表，以及业界合作伙伴共同见证这一里程碑时刻。这一重大项目的开工建设，标志着广州在半导体设备制造领域迈出关键一步，将为粤港澳大湾区半导体产业链发展注入新动能。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士介绍，目前公司的三十多种设备已经覆盖半导体高端设备的25%到30%，在今后的五到十年，中微公司计划通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%，发展成为平台型的集团公司。
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划占地约130亩，此次开工建设的一期项目占地约50亩，预计2026年年底建成，2027年计划投产。基地建成后将聚焦大平板显示设备领域的研发与生产，并将逐步拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。
中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备，在过去14年保持营业收入年均增长大于35%。 在2024年比2023年年销售增长44.7%的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9%，达到49.61亿元。
在研发方面，中微公司2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%， 研发投入占总营收约30.07%，高于科创板上市公司的平均研发投入水平。目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发；在泛半导体微观制造领域，产品涵盖新一代TSV深硅刻蚀设备和PVD及CVD设备，大平板显示技术，智能玻璃和玻璃基板的大平板设备领域所需的薄膜设备及等离子体刻蚀设备等众多产品。
“此次广州研发及生产基地项目的启动，彰显了中微公司依托半导体设备领域的深厚基础，跨界发展、迅速开拓新兴应用领域的强大能力，同样也体现了广东各级政府创新的工作思路和务实的工作作风，大大加速了中微公司产品研发及成功产业化的进程”，中微公司集团副总裁、中微广州公司总经理张凯表示。
值得关注的是，随着中微公司华南总部项目的落地，增城区半导体产业集聚效应将进一步增强。近年来，增城区积极布局半导体、新型显示等战略性新兴产业，通过政策引导、土地供给、优化审批流程等举措，加速构建现代化产业体系。
“广州研发及生产基地项目的启动，是中微公司深入推进“三维发展”战略的重要实践，将为公司多元化布局和实现高质量发展打下坚实的基础。”中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，“希望中微广州扎根南粤大地，持续创新突破，与粤港澳大湾区的科研机构、高校及产业链上下游企业开展更深入的合作，为半导体及泛半导体产业的发展和广东地区的科技创新和经济建设做出贡献。”
采写：南都·湾财社记者 王艳玲
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